1 简介

真空(kong)泵是一种旋转式变容真空(kong)泵须有(you)前级泵配合方可使(shi)用在较宽(kuan)的压力范围内(nei)有(you)较大的抽速(su)对被抽除气体中含有(you)灰(hui)尘和水蒸汽不敏感广(guang)泛(fan)用于冶金、化工、食品(pin)、电子镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在(zai)较宽的(de)压力(li)范围内有(you)较大(da)的(de)抽速；

(2)转子具有良好的几(ji)何对称(cheng)性，故振动小，运转平(ping)稳。转子间(jian)及转子和(he)壳体间(jian)均有间(jian)隙，不用(yong)润滑，摩(mo)擦损失小，可(ke)大(da)大(da)降低(di)驱(qu)动功(gong)率，从(cong)而可(ke)实(shi)现较高转速；

(3)泵(beng)腔(qiang)内无需用(yong)油(you)密封和(he)润滑，可减少油(you)蒸气对(dui)真空系(xi)统的(de)污染；

(4)泵腔内(nei)无压缩，无排气阀。结构(gou)简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；

(5)压缩(suo)比较低(di)，对氢气抽气效果差；

(6)转(zhuan)子(zi)表面为形状较为复杂(za)的曲线柱面，加工(gong)和检查比较困难。

3 结构

（1） 泵总体结构型式

真空泵(beng)的泵(beng)体的布(bu)置(zhi)结构(gou)决定了泵(beng)的总体结构(gou)。

立式结构的进、排气口(kou)水平设置，装配和(he)连(lian)接管路都比较方便。但泵的重(zhong)心较高，在高速运转(zhuan)时稳定性差(cha)，故这种型(xing)式多用于小泵。

卧式泵的进(jin)(jin)气(qi)(qi)口(kou)在上，排气(qi)(qi)口(kou)在下。有时(shi)(shi)为了(le)真空系统管(guan)道安装(zhuang)连接方便，可(ke)将排气(qi)(qi)口(kou)从(cong)水平方向接出，即进(jin)(jin)、排气(qi)(qi)方向是相互垂直的。此(ci)时(shi)(shi)，排气(qi)(qi)口(kou)可(ke)以(yi)从(cong)左(zuo)或(huo)右两(liang)个(ge)方向开(kai)口(kou)，除接排气(qi)(qi)管(guan)道一(yi)端外，另一(yi)端堵死或(huo)接旁通(tong)阀。这(zhei)种泵结构重心低，高(gao)速运转时(shi)(shi)稳定性好。一(yi)般大(da)、中型(xing)泵多(duo)采(cai)用此(ci)种结构。

泵(beng)(beng)的两个转(zhuan)子(zi)轴与水平面垂直安装(zhuang)(zhuang)。这种结(jie)构装(zhuang)(zhuang)配间隙(xi)容(rong)易(yi)控(kong)制，转(zhuan)子(zi)装(zhuang)(zhuang)配方便，泵(beng)(beng)占地面积小(xiao)。但泵(beng)(beng)重心(xin)较高且齿轮(lun)拆装(zhuang)(zhuang)不便，润滑(hua)机(ji)构也相(xiang)对(dui)复(fu)杂(za)。

（2） 泵(beng)的传动方式

真(zhen)空泵(beng)的(de)两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)是通过(guo)一对高(gao)精度齿轮(lun)(lun)来实(shi)现其(qi)相对同步运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)。主动(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)通过(guo)联轴(zhou)器与电机联接。在(zai)传(chuan)动(dong)(dong)(dong)(dong)结构布置上主要有(you)以下两(liang)种(zhong)：其(qi)一是电动(dong)(dong)(dong)(dong)机与齿轮(lun)(lun)放在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)的(de)同一侧如图。从动(dong)(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)由电动(dong)(dong)(dong)(dong)机端齿轮(lun)(lun)直接传(chuan)过(guo)去带(dai)动(dong)(dong)(dong)(dong)，这样(yang)主动(dong)(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)轴(zhou)的(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形小(xiao)，则两(liang)个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)(zhi)间的(de)间隙不(bu)会因主动(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)的(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形大(da)而改变(bian)，故使(shi)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)(zhi)间的(de)间隙在(zai)运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程中均匀。这种(zhong)传(chuan)动(dong)(dong)(dong)(dong)方式的(de)最(zui)大(da)缺点是：a.主动(dong)(dong)(dong)(dong)轴(zhou)上有(you)三个(ge)轴(zhou)承(cheng)，增加了泵(beng)的(de)加工(gong)和装(zhuang)(zhuang)配难度，齿轮(lun)(lun)的(de)拆装(zhuang)(zhuang)及调整(zheng)也不(bu)便；b.整(zheng)体结构不(bu)匀称，泵(beng)的(de)重(zhong)心偏向电动(dong)(dong)(dong)(dong)机和齿轮(lun)(lun)箱(xiang)一侧。

    极(ji)限真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)一个重要参数，是(shi)反应(ying)泵(beng)抽(chou)(chou)气(qi)(qi)能力的(de)(de)(de)特(te)性值，是(shi)与真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关(guan)的(de)(de)(de)一个数值，不同(tong)的(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以有不同(tong)的(de)(de)(de)“极(ji)限真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”度。而“理论(lun)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)理论(lun)研究时的(de)(de)(de)一个概(gai)念，是(shi)排除(chu)各种(zhong)实际因素的(de)(de)(de)影响而提炼出的(de)(de)(de)一种(zhong)最理想(xiang)的(de)(de)(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容(rong)器(qi)经(jing)充分(fen)抽(chou)(chou)气(qi)(qi)后，稳定在(zai)某(mou)一真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度，此真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度称为极(ji)限真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)。通(tong)常真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容(rong)器(qi)须经(jing)12小(xiao)时炼气(qi)(qi)，再经(jing)12小(xiao)时抽(chou)(chou)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)，最后一个小(xiao)时每隔10分(fen)钟(zhong)测量一次，取其10次的(de)(de)(de)平均值为极(ji)限真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)值。